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等离子废气净化设备是利用电子、各种离子、原子和自由基等活性等离子体和废气中的污染物作用,高效净化、无需添加任何物质、适应性强、低耗节能、安全可靠的特点,使废气物质分子在极短的时间内发生分解,并发生后续的各种反应以达到分解废气的目的。低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态,当外加电压达到气体的着火电压时,气体被击穿,产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但重粒子温度很低,整个体系呈现低温状态,所以称为低温等离子体。
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